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环境稳定的厚膜的化学放大抗蚀剂

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780048100.3
  • IPC分类号:G03F7/039
  • 申请日期:
    2017-08-07
  • 申请人:
    睿智弗尤德收购公司
著录项信息
专利名称环境稳定的厚膜的化学放大抗蚀剂
申请号CN201780048100.3申请日期2017-08-07
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-06-04公开/公告号CN109844641A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/039IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;3;9查看分类表>
申请人睿智弗尤德收购公司申请人地址
卢森堡卢森堡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人睿智弗尤德收购公司当前权利人睿智弗尤德收购公司
发明人M.A.托克西;刘卫宏;卢炳宏
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人陈晰
摘要
描述了环境稳定的化学放大(CA)正性抗蚀剂组合物。这些抗蚀剂组合物是基于至少两种类型的聚合物平台的共混物。第一平台是低活化能,缩醛封端的聚羟基苯乙烯(PHS)基树脂;第二平台是含有高活化能酸不稳定基团的丙烯酸酯基树脂[如丙烯酸叔丁酯(t‑BA)]。抗蚀剂组合物还含有溶解在合适溶剂中的光酸产生剂(PAG),碱猝灭剂,表面活性剂。还描述了这些抗蚀剂组合物在基底上形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法中的用途。

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