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一种用光刻机制作菲林的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710270881.2
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2017-04-24
  • 申请人:
    南京市罗奇泰克电子有限公司
著录项信息
专利名称一种用光刻机制作菲林的方法
申请号CN201710270881.2申请日期2017-04-24
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-07-14公开/公告号CN106950802A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人南京市罗奇泰克电子有限公司申请人地址
江苏省南京市溧水区东屏镇工业园朝阳路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京市罗奇泰克电子有限公司当前权利人南京市罗奇泰克电子有限公司
发明人楼方禄
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)代理人梁耀文
摘要
本发明公开一种用光刻机制作菲林的方法,具体步骤在于:1、将吸气平台安装到光刻机台面上;2、将裁剪好的菲林平铺到吸气平台上,完全吸合;3、GERBER文件输入,调整坐标,设置光刻机参数,开始绘制;4、菲林经冲片机显影定影,制作出有图像的菲林。本发明在制作菲林可在明室操作;精度大大提高,相同图像绘制速度提升5倍;菲林大小可在1000*1600范围任意大小都可绘制,无需固定菲林大小。

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