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高精度光矢量分析装置及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110921826.1
  • IPC分类号:G01M11/02
  • 申请日期:
    2021-08-12
  • 申请人:
    武汉昊衡科技有限公司
著录项信息
专利名称高精度光矢量分析装置及方法
申请号CN202110921826.1申请日期2021-08-12
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-10公开/公告号CN113375913A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/02IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人武汉昊衡科技有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区东信路SBI创业街1栋9层02室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉昊衡科技有限公司当前权利人武汉昊衡科技有限公司
发明人王辉文;刘晓平;张晓磊;温永强;张晓乔
代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限公司代理人许美红
摘要
本发明公开了一种高精度光矢量分析装置,该装置中,光源发出的扫频激光分别进入第一干涉光路、第二干涉光路;第一干涉光路工作时,第一测量信号经过待测器件后与参考信号发生拍频干涉,并由偏振分束器将产生的拍频信号分为偏振态相互垂直的两路,分别为第一、第二拍频信号;第二干涉光路工作时,偏振方向与第一测量信号垂直的第二测量信号经过待测器件后与参考信号发生拍频干涉产生第三、第四拍频信号;处理四个拍频信号得到待测器件的琼斯矩阵,进而可获得器件光学参数。本发明能实现器件全波长范围内幅频响应的高精度测量并间接获得其他光学参数,简单便捷,有效缩短了测量时间。

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