一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120449099.9
IPC分类号：G01Q60/24;G01Q60/38
申请日期：
2021-03-02
申请人：
国仪量子(合肥)技术有限公司

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专利名称	一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台
申请号	CN202120449099.9	申请日期	2021-03-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;2;4;;;G;0;1;Q;6;0;/;3;8查看分类表>
申请人	国仪量子(合肥)技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区创新产业园2期E2栋B区4楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国仪量子(合肥)技术有限公司	当前权利人	国仪量子(合肥)技术有限公司
发明人	胡江波;许克标;张伟杰
代理机构	合肥律众知识产权代理有限公司	代理人	殷娟

摘要

本实用新型公开了一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，包括中空安装平台，中空安装平台包括呈上下位置固定的中空顶板和中空底板，中空顶板与中空底板之间设置有二维调节装置，二维调节装置底部连接有安装AFM探针的探针支座，AFM探针置于中空安装平台的中空区域下部，二维调节装置通过探针支座带动AFM探针在水平方向上移动实现水平方向上位置调节，中空顶板上安装有实现探针支座竖直升降的升降调节装置；本实用新型的量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，通过中空结构的设置，实现了物镜与探针结构部件的直接相对安装，移动台整体结构简单且体积小，可以实现三维微动调节，调节精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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