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一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201922454004.8
  • IPC分类号:C23C16/54;C23C16/26
  • 申请日期:
    2019-12-30
  • 申请人:
    宁波柔碳电子科技有限公司
著录项信息
专利名称一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备
申请号CN201922454004.8申请日期2019-12-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/54IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;4;;;C;2;3;C;1;6;/;2;6查看分类表>
申请人宁波柔碳电子科技有限公司申请人地址
浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路1818号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波柔碳电子科技有限公司当前权利人宁波柔碳电子科技有限公司
发明人白晓航;汪伟;刘兆平
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王洋
摘要
本实用新型提供了一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备,包括:真空腔室、真空泵以及设置于所述真空腔室和真空泵之间的阀门;所述真空腔室内包括:设置于真空腔室底部的镓池,镓池内部承载有液态镓;用于向镓池内通气的进气管;由依次设置的放卷辊、转向辊和收卷辊组成的传动设备;塑料薄膜安装在放卷辊,经转向辊后,卷绕于收卷辊上;其中转向辊浸渍于液态镓中。本实用新型上述装置利用液态镓分解甲烷,塑料薄膜在镓中传动,直接在塑料薄膜表面生长石墨烯薄膜。本实用新型可以直接在塑料基底上生长石墨烯薄膜,方法简单,成本低。

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