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MOCVD装置输运管检漏用连接机构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022199637.1
  • IPC分类号:F17D5/02
  • 申请日期:
    2020-09-30
  • 申请人:
    靖江先锋半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称MOCVD装置输运管检漏用连接机构
申请号CN202022199637.1申请日期2020-09-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D5/02IPC分类号F;1;7;D;5;/;0;2查看分类表>
申请人靖江先锋半导体科技有限公司申请人地址
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人靖江先锋半导体科技有限公司当前权利人靖江先锋半导体科技有限公司
发明人贾昆良
代理机构靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)代理人陈秀兰
摘要
本实用新型公开了MOCVD装置输运管检漏用连接机构,包括设置为凸字形的下固定块,下固定块的凸台与上固定块的台阶孔相配合;所述的上固定块的内表面设置有锥形面,锥形面与下固定块的上端面之间设置有密封圈;下固定块上端面与密封圈之间形成环形密封面;所述的上固定块与下固定块之间通过锁紧螺丝相连接固定;所述的上固定块上方设置有密封接头,密封接头与上固定块之间通过对接管道相连接,密封接头外部设置有螺母。优点是结构简单,使用方便,能重复使用,大大降低了使用成本;且安装快速便捷,通用程度高,密封效果好,不会对管体表面造成损伤;大大提高了对输运管本体、焊缝或连接处存在的孔洞、裂纹或间隙等漏点检测的效率。

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