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一种递进真空离心系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821739379.8
  • IPC分类号:B04B15/08
  • 申请日期:
    2018-10-25
  • 申请人:
    上杭鑫昌龙实业有限公司
著录项信息
专利名称一种递进真空离心系统
申请号CN201821739379.8申请日期2018-10-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B04B15/08IPC分类号B;0;4;B;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人上杭鑫昌龙实业有限公司申请人地址
福建省龙岩市上杭县临城镇南岗工业园区龙翔大道东段1# 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上杭鑫昌龙实业有限公司当前权利人上杭鑫昌龙实业有限公司
发明人黄燕生
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种递进真空离心系统,涉及半流体生产加工技术领域,解决了半流体吸入真空泵中,影响真空泵正常使用与除气泡效果的技术问题。其技术要点包括加工罐体、真空泵与输料泵,所述加工罐体的侧壁上设置有连通于罐体内的进料管、出料管与真空管,所述输料泵管道连接于输料泵,所述真空管上设置有真空阀,所述真空管管道连接设置有真空罐,所述真空罐侧壁上连通设置有连接于真空泵的抽气管,本实用新型具有避免容器中半流体进入真空泵,保证对半流体内气泡的消除效果的优点。

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