一种光罩拿取装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320678553.3
IPC分类号：B25B27/00
申请日期：
2013-10-30
申请人：
武汉新芯集成电路制造有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种光罩拿取装置
申请号	CN201320678553.3	申请日期	2013-10-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25B27/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25B 不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备 B25B27/00 不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备（简单装配或分离金属零件或物品的机械入B23P 19/00）	IPC分类号	B;2;5;B;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	武汉新芯集成电路制造有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉新芯集成电路制造有限公司	当前权利人	武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人	姚佳辉;陈培刚
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	杨立

摘要

本实用新型涉及一种光罩拿取装置，其包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。通过本实用新型所述的光罩拿取装置可以简单安全地从机台拿取光罩，还能够避免碰触到光罩的薄膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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