具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201110233868.2
IPC分类号：B01J4/02
申请日期：
2006-04-25
申请人：
高级技术材料公司;东京毅力科创株式会社

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著录项信息

专利名称	具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统
申请号	CN201110233868.2	申请日期	2006-04-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-04-25	公开/公告号	CN102423665A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J4/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J4/00 进料装置；进料或出口控制装置（压力容器的进料或出口装置入B01J3/02）〔1，2006.01〕 B01J4/02 输送已计量的试剂	IPC分类号	B;0;1;J;4;/;0;2查看分类表>
申请人	高级技术材料公司;东京毅力科创株式会社	申请人地址	美国康涅狄格州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	高级技术材料公司,东京毅力科创株式会社	当前权利人	高级技术材料公司,东京毅力科创株式会社
发明人	明娜·霍维宁;约翰·R·金格里;格伦·M·汤姆;凯文·T·奥多尔蒂;柯克·米克尔森;唐纳德·D·韦尔;彼得·C·范巴斯柯克
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	李丙林;张英

摘要

本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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