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蒸发装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410037527.8
  • IPC分类号:C23C14/26
  • 申请日期:
    2004-04-28
  • 申请人:
    三洋电机株式会社
著录项信息
专利名称蒸发装置
申请号CN200410037527.8申请日期2004-04-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-12-01公开/公告号CN1550572
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/26IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;6查看分类表>
申请人三洋电机株式会社申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三洋电机株式会社当前权利人三洋电机株式会社
发明人远藤铁郎;岩濑博俊;加藤晴三;落合真世
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人程伟;王初
摘要
本发明提供一种蒸发装置,其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅(10)的上部的电热加热器(12),收纳于坩锅(10)内,且将设置于电热加热器(12)的下方的蒸发材料予以加热,而使气化的蒸镀材料从所通过的电热加热器(12)的开口释出。对于该坩锅(10)的外部施有金属涂层(25),藉此,即可减少辐射至坩锅(10)的外部的热,且可以较高效率将电热加热器(12)所产生的热利用于蒸发材料的升温。因此,可使长条坩锅(10)内的加热得以有效率,且达到内部温度均匀化的目的。

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