快速测量物体表面面形的方法及其应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201410147774.7
IPC分类号：G01B11/24;G01B11/02;G01N21/00
申请日期：
2014-04-14
申请人：
睿励科学仪器（上海）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	快速测量物体表面面形的方法及其应用
申请号	CN201410147774.7	申请日期	2014-04-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-10-14	公开/公告号	CN104976963A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;N;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	睿励科学仪器（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	睿励科学仪器（上海）有限公司	当前权利人	睿励科学仪器（上海）有限公司
发明人	陈星;黄建华;周善淮
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	郑立柱

摘要

提供了用光学信号对物体表面进行面形重构的快速测量物体表面面形的方法及其在半导体工艺中测量硅片表面残余全局应力的应用。所述方法包括：a、预先获取光学信号与位置的关系，确定光学信号与位置一一对应的线性区间；b、按照精度要求确定物体表面的扫描线，扫描物体表面，获得光学信号和扫描位置变化的扫描曲线；c、在扫描过程中对扫描曲线进行修正，使超出线性区间的光学信号回到线性区间；d、扫描结束后，由光学信号和位置的一一对应关系给出扫描曲线上各处的位置；e、将经修正的扫描曲线竖直平移至与未修正的扫描曲线连接以重构整个物体表面面形。本发明通过光学信号扫描物体表面并快速修正，可实现非接触无损被测物体表面的快速测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供