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一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310279661.8
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2013-07-04
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法
申请号CN201310279661.8申请日期2013-07-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-10-09公开/公告号CN103345129A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人邢莎莎;廖志杰;林妩媚
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司代理人成金玉;顾炜
摘要
一种光刻机中照明全系统及各组件透过率测量方法,测量装置包括光源,能量衰减装置,光路分离元件,待测光学元件,光束接收与探测单元,数据处理和控制系统。实现步骤:用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路;用示波器记录多组测试光路和参考光路的光电探测器输出电压数据,采用分别将相邻两次测量结果进行数据处理,最后将整组数据求和平均的方法求出待测光学组件的透过率。采用本发明方法测量光刻机中照明全系统及各组件的透过率,具有较高的测量精度和测量多功能性。

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