一种软X射线滤光片及其制备方法和用途

发明专利有效专利

申请号：
CN202110972075.6
IPC分类号：G21K1/10;C23C14/16;C23C14/30
申请日期：
2021-08-24
申请人：
上海科技大学

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著录项信息

专利名称	一种软X射线滤光片及其制备方法和用途
申请号	CN202110972075.6	申请日期	2021-08-24
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-23	公开/公告号	CN113689968A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G21K1/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G21 核物理；核工程 G21K 未列入其他类目的粒子或电离辐射的处理技术；照射装置；γ射线或X射线显微镜〔2〕 G21K1/00 粒子或电离辐射的处理装置，如聚焦或慢化（电离辐射滤波器入G21K 3/00；中子、带电粒子、中性分子束或中性原子束的产生或加速入H05H 3/00至H05H 15/00）〔2〕 G21K1/10 散射器件；吸收器件〔2〕	IPC分类号	G;2;1;K;1;/;1;0;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;0查看分类表>
申请人	上海科技大学	申请人地址	上海市浦东新区华夏中路393号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海科技大学	当前权利人	上海科技大学
发明人	孟建伟;翁祖谦
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	严晨;许亦琳

摘要

本发明涉及X射线探测应用领域，特别是涉及一种软X射线滤光片及其制备方法和用途。本发明所提供的软X射线滤光片，包括石墨烯支撑层，所述石墨烯支撑层表面涂覆有铝膜。本申请所提供的软X射线滤光片采用了石墨烯作为铝膜的支撑结构，使得能量在277eV附近的光子，其透过率可达到90％以上，克服了现有滤光片对该能量范围透过率底的问题，而对于能量范围在400‑1000eV的光子，其最低透过率更是达到95％以上，尤其是能量大于1000eV的光子，几乎完全透过。

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