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涡轮分子泵

发明专利无效专利

申请号：
CN85101627.8
IPC分类号：--
申请日期：
1985-04-01
申请人：
株式会社岛津制作所

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涡轮分子泵
申请号	CN85101627.8	申请日期	1985-04-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本京都市中京区西凉桑原町1 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	成田清;川口寿一
代理机构	中国专利代理有限公司	代理人	黄力行

摘要

转子转动进行抽气的涡轮分子泵，有一组由互相交替排列的转子组成的叶片和定子叶片，在所述的排气通口侧或中间部分的叶片组中有压缩比增大的部位，压缩比增大部位有一个转子，其叶片厚度大于更接近吸口侧的转子，这种涡轮分子泵只有低真空度获高的抽气效率。

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