一种晶圆切割废水回用专用装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020841685.3
IPC分类号：B08B3/02;B01D33/11;B01D33/42;C02F9/02
申请日期：
2020-05-19
申请人：
深圳市慧聪源环保科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆切割废水回用专用装置
申请号	CN202020841685.3	申请日期	2020-05-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;1;D;3;3;/;1;1;;;B;0;1;D;3;3;/;4;2;;;C;0;2;F;9;/;0;2查看分类表>
申请人	深圳市慧聪源环保科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区松岗街道东方社区广深路松岗段98号2栋304 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市慧聪源环保科技有限公司	当前权利人	深圳市慧聪源环保科技有限公司
发明人	石勇波
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种晶圆切割废水回用专用装置，包括箱体、固定连接于箱体顶部的防护罩以及固定连接于箱体底部的底箱，所述底箱内壁的底部固定连接有电机，且电机的顶部贯穿箱体并延伸至箱体的内部，所述电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有第一齿轮，所述箱体内壁底部的两侧均通过轴承转动连接有过滤筒，本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该晶圆切割废水回用专用装置，可实现对晶圆片冲洗后废水中的悬浮微颗粒进行三次快速过滤，彻底清除颗粒杂质后对水进行回收利用，对晶圆片进行二次冲洗，节约了一定的水资源，同时也有效避免了含有悬浮物的废水排放至外界从而对环境造成污染的问题，符合实际的使用需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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