便携式轮廓仪及轮廓扫描显微镜和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201611039317.1
IPC分类号：G01B7/28;G01B9/04
申请日期：
2016-11-21
申请人：
清华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	便携式轮廓仪及轮廓扫描显微镜和系统
申请号	CN201611039317.1	申请日期	2016-11-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-05-29	公开/公告号	CN108088359A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/28 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;2;8;;;G;0;1;B;9;/;0;4查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	林立;孙陶陶;叶际隆;郑泉水
代理机构	北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	郭少晶;马佑平

摘要

本发明公开了一种便携式轮廓仪及轮廓扫描显微镜和系统，轮廓仪包括三轴压电陶瓷扫描管，其由X、Y和Z方向压电陶瓷驱动器构成；每一压电陶瓷驱动器包括柔性放大机构和压电陶瓷，柔性放大机构具有固定端和运动端，且被设置为使得运动端产生对压电陶瓷的变形进行放大的直线位移；X、Y、Z方向压电陶瓷驱动器及电容差分传感器依次串联连接，且X、Y、Z方向压电陶瓷驱动器分别在使得对应运动端沿X、Y、Z方向产生直线位移的方位上设置；电容差分传感器包括目标件、探针和两个感应件，探针沿Z方向与目标件固连，两个感应件各自与目标件组成一个单极电容。该轮廓仪具有体积小、成本低且分辨率高的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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