加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种测试结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021090911.5
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2020-06-12
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种测试结构
申请号CN202021090911.5申请日期2020-06-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人王志强
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本申请实施例提供了一种测试结构,可以包括第一金属线、第二金属线,以及第一金属线和第二金属线之间的介质层,第一金属线用于连接第一电压,第二金属线用于连接第二电压,其中,第一金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第一电压,和/或,第二金属线通过连接入一个电编程熔丝来连接第二电压。第一电编程熔丝和第二电编程熔丝在正常工作时电阻较小,但是在介质层击穿之后整个电路回路中产生较大的电流,此时第一金属接入的电编程熔丝和/或第二金属接入的电编程熔丝的电阻骤然变大,此时的电编程熔丝由于大电阻起到分压/降电流作用,抑制了电介质击穿处的电流而减弱击穿损伤,利于后期对击穿位置的物理失效分析。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供