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利用自对准后栅极控制前栅极绝缘体上硅MOSFET的器件阈值

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480021683.3
  • IPC分类号:H01L29/786;H01L21/336
  • 申请日期:
    2004-08-11
  • 申请人:
    国际商业机器公司
著录项信息
专利名称利用自对准后栅极控制前栅极绝缘体上硅MOSFET的器件阈值
申请号CN200480021683.3申请日期2004-08-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2006-09-06公开/公告号CN1830090
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/786
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人国际商业机器公司申请人地址
开曼群岛大开曼岛 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人格芯公司当前权利人格芯公司
发明人R·登纳德;W·亨施;H·哈纳菲
代理机构北京市中咨律师事务所代理人于静;杨晓光
摘要
本发明提供了SOI CMOS技术,利用该技术将多晶硅后栅极用于控制前栅极器件的阈值电压,并且nMOS和pMOS后栅极彼此和与所述前栅极无关地切换。具体地说,本发明提供了一种制造后栅极型完全耗尽的CMOS器件的方法,其中所述器件的后栅极与所述器件的前栅极以及源极/漏极延伸自对准。这样的结构使电容最小,同时提高了器件和电路性能。利用现有的SIMOX(氧离子注入隔离)或接合SOI晶片、晶片接合和减薄、多晶Si蚀刻、低压化学气相沉积以及化学机械抛光,制造本发明的后栅极型完全耗尽的COMS器件。

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