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具有扩散阻挡间隙件部分的场效应晶体管

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010084168.0
  • IPC分类号:H01L29/78
  • 申请日期:
    2020-02-10
  • 申请人:
    格芯公司
著录项信息
专利名称具有扩散阻挡间隙件部分的场效应晶体管
申请号CN202010084168.0申请日期2020-02-10
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2020-09-15公开/公告号CN111668309A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8查看分类表>
申请人格芯公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人格芯(美国)集成电路科技有限公司当前权利人格芯(美国)集成电路科技有限公司
发明人乔治·R·姆芬格;余鸿;谷曼;彭建伟;麦克·阿基利诺
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司代理人程伟;王锦阳
摘要
本发明涉及具有扩散阻挡间隙件部分的场效应晶体管,揭露场效应晶体管的结构以及形成场效应晶体管的方法。在由半导体材料组成的主动区上方设置该场效应晶体管的栅极结构。邻近该栅极结构设置第一侧壁间隙件。第二侧壁间隙件包括设置于该第一侧壁间隙件与该主动区之间的部分。该第一侧壁间隙件由低k介电材料组成。

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