一种高压实验制样表征一体化组合方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011155247.2
IPC分类号：G01N1/28;G01N27/04;G01N27/72;G01N19/00;G01N3/08
申请日期：
2020-10-26
申请人：
中国科学院物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种高压实验制样表征一体化组合方法
申请号	CN202011155247.2	申请日期	2020-10-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-02-26	公开/公告号	CN112414807A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20）	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;2;8;;;G;0;1;N;2;7;/;0;4;;;G;0;1;N;2;7;/;7;2;;;G;0;1;N;1;9;/;0;0;;;G;0;1;N;3;/;0;8查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	靳常青;何鑫;冯少敏
代理机构	北京天达知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	吴利芳

摘要

本发明公开了高压实验制样表征一体化组合方法，属于高压实验研究技术领域，解决了现有技术中高压实验过程中样品制样困难，样品的尺寸、形貌、位置无法准确控制导致实验的重复性很差，样品进行电学性质测试时样品与电极之间接触不良的难题。一体化组合方法，采用磁控溅射镀膜制备样品和内电极。包括在金属封垫上预压一个凹痕；在凹痕的中心位置打第一小孔，之后将绝缘材料填充到第一小孔及其周边，形成一层覆盖整个压痕的薄层；在薄层中间打第二小孔，作为放置样品的高压腔；将高压腔用传压介质填满后，在中心位置去掉部分传压介质，为样品留好空间；采用磁控溅射镀膜在上压砧的砧面上制备内电极和样品。本发明的方法可重复性好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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