生产氮化硼制品的气相沉积炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620185281.7
IPC分类号：C23C16/44;C23C16/34;C01B21/064
申请日期：
2016-03-10
申请人：
浙江诺华陶瓷有限公司

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著录项信息

专利名称	生产氮化硼制品的气相沉积炉
申请号	CN201620185281.7	申请日期	2016-03-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/44 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;3;4;;;C;0;1;B;2;1;/;0;6;4查看分类表>
申请人	浙江诺华陶瓷有限公司	申请人地址	浙江省金华市东阳市巍山镇刘怀工业功能区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江诺华陶瓷有限公司	当前权利人	浙江诺华陶瓷有限公司
发明人	董家海
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴、二级转轴和三级转轴，转轴上设有用于挂载模具的挂架。本实用新型能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量。

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