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酸不稳定超支化共聚物和相关联的光致抗蚀剂组合物以及形成电子器件的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611125931.X
IPC分类号：C08F293/00;C08F220/18
申请日期：
2016-12-08
申请人：
陶氏环球技术有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	酸不稳定超支化共聚物和相关联的光致抗蚀剂组合物以及形成电子器件的方法
申请号	CN201611125931.X	申请日期	2016-12-08
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-06-27	公开/公告号	CN106893053A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08F293/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08F 仅用碳-碳不饱和键反应得到的高分子化合物（由低碳烃制造液态烃混合物，例如通过齐聚作用入C10G 50/00；发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P；含有碳-碳不饱和键的单体接枝聚合到纤维、丝线、纱线、织物或用这些材料制成的纤维制品入D06M 14/00）〔2〕 C08F293/00 在高分子上聚合反应所得到的高分子化合物，该起始的高分子只在一端或两端具有能导致形成新聚合物链的基团（接到引入不饱和末端基而改性的聚合物上入C08F 290/02）〔2〕	IPC分类号	C;0;8;F;2;9;3;/;0;0;;;C;0;8;F;2;2;0;/;1;8查看分类表>
申请人	陶氏环球技术有限责任公司	申请人地址	美国密歇根州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陶氏环球技术有限责任公司	当前权利人	陶氏环球技术有限责任公司
发明人	J·W·克雷默
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈哲锋

摘要

酸不稳定超支化共聚物通过共聚合包括双官能单体和单(甲基)丙烯酸酯的单体形成。所述双官能单体包括使所述共聚物酸不稳定的至少一个缩甲醛基团、缩醛基团或缩酮基团。所述共聚物适用作提供除了其它期望的光微影特性外的低线宽粗糙度的光致抗蚀剂组合物的组分。

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