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真空蒸镀装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510245745.9
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2015-05-14
  • 申请人:
    日立造船株式会社
著录项信息
专利名称真空蒸镀装置
申请号CN201510245745.9申请日期2015-05-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-02-10公开/公告号CN105316625A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人日立造船株式会社申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日立造船株式会社当前权利人日立造船株式会社
发明人金信真理子;藤本英志;大工博之;松本祐司;千住直辉
代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司代理人鹿屹;李雪春
摘要
本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料,材料供给装置(3)包括:材料填充容器(11),填充有蒸镀材料;材料引导管道(12),利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体,将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导;加热器(17),加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化;以及振动赋予器(13),对材料填充容器(11)赋予振动。

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