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一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010920275.2
  • IPC分类号:C01G9/02
  • 申请日期:
    2020-09-04
  • 申请人:
    中山大学
著录项信息
专利名称一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置
申请号CN202010920275.2申请日期2020-09-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-12-15公开/公告号CN112079375A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01G9/02IPC分类号C;0;1;G;9;/;0;2查看分类表>
申请人中山大学申请人地址
广东省广州市海珠区新港西路135号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中山大学当前权利人中山大学
发明人黄丰;李悌涛;汪宏
代理机构深圳市创富知识产权代理有限公司代理人李思坪
摘要
本发明涉及氧化锌制备技术领域,具体涉及一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置,为提供一种在弱氧化性或真空和较低温度的外部环境下实现ZnO:Li材料中富余间隙掺杂锂原子的氧化脱除方法,本发明提供一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置,包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、真空泵和气路管道;同时,本发明还提供一种基于上述退火装置实现氧化锌间隙锂去除的工艺,该工艺可以在一个相对弱氧化性以及较低温的环境中脱除氧化锌掺Li薄膜材料中的间隙Li原子,避免了强氧化气氛中锌空位的重新生成,造成材料p型转变的失败;同时在这种热力学条件下,已经形成的替位Li是稳定的。

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