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显示装置的元件结构及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780003110.1
  • IPC分类号:H01L21/3205;C22C21/00;C23C14/34;G02F1/1343;H01B1/02;H01L21/285;H01L23/52;H01L29/786
  • 申请日期:
    2007-10-22
  • 申请人:
    三井金属鉱业株式会社
著录项信息
专利名称显示装置的元件结构及其制造方法
申请号CN200780003110.1申请日期2007-10-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-02-25公开/公告号CN101375378
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3205
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;0;5;;;C;2;2;C;2;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;4;3;;;H;0;1;B;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;5;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;6查看分类表>
申请人三井金属鉱业株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三井金属鉱业株式会社当前权利人三井金属鉱业株式会社
发明人占部宏成;松浦宜范;久保田高史
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人范征
摘要
本发明提供具有薄膜晶体管的显示装置中的可与n+-Si等半导体层直接接合的Al系合金配线材料。本发明的铝中含有镍和硼的Al系合金配线材料的特征在于,含有氮(N)。较好的是该氮含量为2×1017原子/cm3以上但不足9×1021原子/cm3。较好的是该Al系合金配线材料在镍的组成比例定义为x原子%、硼的组成比例定义为y原子%、铝的组成比例定义为z原子%、x+y+z=100时,满足0.5≤x≤10.0、0.05≤y≤11.00、y+0.25x≥1.00、y+1.15x≤11.50各式,其余部分含有氮。

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