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激光加工装置及激光加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980071652.5
IPC分类号：B23K26/53;H01L21/301
申请日期：
2019-10-30
申请人：
浜松光子学株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	激光加工装置及激光加工方法
申请号	CN201980071652.5	申请日期	2019-10-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-25	公开/公告号	CN113039038A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/53 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/42（转入B23K26/60，B23K26/70）B23K26/50 通过发射激光束通过工件或在工件内来加工的〔2014.01〕 B23K26/53 通过改变或重建工件内部材料，例如生产断裂初始裂纹〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;5;3;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分类表>
申请人	浜松光子学株式会社	申请人地址	日本静冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浜松光子学株式会社	当前权利人	浜松光子学株式会社
发明人	坂本刚志;是松克洋
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	杨琦;黄浩

摘要

激光加工装置具备：支承部、照射部、移动机构、控制部及摄像部。控制部实行第1前处理，该第1前处理是沿着具有并排配置的多条并行线的加工用线将激光照射于对象物，而在对象物形成改质区域。摄像部取得第1图像，该第1图像呈现通过第1前处理而沿着具有多条并行线的加工用线形成了改质区域的情况的加工状态。

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