半导体生产线投料控制方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010592636.1
IPC分类号：G05B13/04
申请日期：
2010-12-10
申请人：
北京化工大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体生产线投料控制方法
申请号	CN201010592636.1	申请日期	2010-12-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-20	公开/公告号	CN102023573A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B13/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B13/00 自适应控制系统，即系统按照一些预定的准则自动调整自己使之具有最佳性能的系统（G05B 19/00优先；计算机零部件入G06F 15/18）〔3〕 G05B13/02 电的 G05B13/04 包括使用模型或模拟器的〔3〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;3;/;0;4查看分类表>
申请人	北京化工大学	申请人地址	北京市朝阳区北三环东路15号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京化工大学	当前权利人	北京化工大学
发明人	曹政才;王民;吴启迪;赵会丹;彭亚珍;靳保
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	楼艮基

摘要

一种半导体生产线投料控制方法，采用模糊Petri网技术进行生产线在线投料控制，包括构建投料模糊Petri网推理模型；构建半导体生产线在线投料机制；模糊Petri网模型参数设置；通过对实际半导体生产系统不确定性事件，明确投料Petri网模型的模糊推理条件库所集；通过明确推理条件下得到的结论，确定投料Petri网推理结论库所集；同时通过提炼积累投料决策规则，汇总推理规则集；建立投料模糊Petri网推理模型；利用投料模糊Petri网推理模型进行周期性决策判定；一旦意外事件发生，则立即启动该模型，根据各结论库所的可信度，判定是否修改并自行修改投料计划；本发明设计过程简单，容易实现，鲁棒性好。使半导体生产线效率提高，预知能力增强，整体性能得到相应改善。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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