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半导体器件及半导体器件的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010552511.6
  • IPC分类号:H01L29/00;H01L29/812;H01L21/338
  • 申请日期:
    2010-11-17
  • 申请人:
    富士通株式会社
著录项信息
专利名称半导体器件及半导体器件的制造方法
申请号CN201010552511.6申请日期2010-11-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-05-25公开/公告号CN102074571A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/00IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;9;/;8;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;8查看分类表>
申请人富士通株式会社申请人地址
日本国神奈川县川崎市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士通株式会社当前权利人富士通株式会社
发明人冈本直哉
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人姜燕;陈晨
摘要
一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:复合半导体层,设置在衬底上方;多个源电极和多个漏电极,设置在所述复合半导体层上方;多个第一通路,每个所述第一通路被配置为穿通所述复合半导体层并耦合至所述多个源电极中相应的一个源电极;多个第二通路,每个所述第二通路被配置为穿通所述复合半导体层并耦合至所述多个漏电极中相应的一个漏电极;共源配线,被配置为耦合至所述多个第一通路并埋置在所述衬底中;以及共漏配线,被配置为耦合至所述多个第二通路并埋置在所述衬底中。本发明能够简化半导体器件的制造工艺、降低成本及改善半导体器件的电气特性。

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