用于制备陀螺仪和加速度计的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910246882.9
IPC分类号：B81C1/00;B81C3/00;B81B7/02;G01C19/00;G01P15/125
申请日期：
2009-11-19
申请人：
明锐有限公司

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著录项信息

专利名称	用于制备陀螺仪和加速度计的方法
申请号	CN200910246882.9	申请日期	2009-11-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-09-22	公开/公告号	CN101837944A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;C;3;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;G;0;1;C;1;9;/;0;0;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	明锐有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	明锐有限公司	当前权利人	明锐有限公司
发明人	东敏·陈;贾斯廷·佩恩;力-天·曾
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	赵飞;南霆

摘要

本发明提供一种用于制备陀螺仪和加速度计的方法。其中，用于制备微机电装置的方法包括提供包括控制电路的第一衬底。该第一衬底具有上表面和下表面。该方法也包括在第一衬底的上表面上形成绝缘层，去除绝缘层的第一部分，从而形成多个突起结构，以及结合第二衬底至第一衬底。该方法进一步包括薄化第二衬底成预定厚度，以及在第二衬底中形成多个沟槽。多个沟槽的每一个延伸至第一衬底的上表面。此外，该方法包括将多个沟槽的每一个的至少一部分填充导电材料，在第二衬底中形成微机电装置，以及结合第三衬底至第二衬底。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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