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银溅射靶材组件的生产工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710086344.2
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2017-02-17
  • 申请人:
    南京东锐铂业有限公司;姚志刚
著录项信息
专利名称银溅射靶材组件的生产工艺
申请号CN201710086344.2申请日期2017-02-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-27公开/公告号CN106893990A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人南京东锐铂业有限公司;姚志刚申请人地址
江苏省南京市浦口区珠江镇浦珠南路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京东锐铂业有限公司,姚志刚当前权利人南京东锐铂业有限公司,姚志刚
发明人姚志刚;王健;李忠飞
代理机构南京钟山专利代理有限公司代理人戴朝荣
摘要
本发明涉及一种银溅射靶材组件的生产工艺,包括浇铸、挤压、抛光、冲压、安装背板等步骤,使用纯银作为原料,通过真空感应熔炼获得铸锭,然后通过冷热轧制与热处理配合获得具有均匀晶粒度及稳定磁透率的溅射靶材,以铼板或铜板作为背板,将背板与银溅射靶材固定组合在一起,形成银溅射靶材组件。本发明提供了一种生产高品质银溅射靶材的工艺方法,确保溅射靶材内部无气孔,纯净、密实,避免溅射时产生不正常放电而产生杂质粒子,去除锭块可能存在的气孔、降低氮氧含量,使靶材更加紧实。

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