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热处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011292027.4
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687
  • 申请日期:
    2020-11-18
  • 申请人:
    株式会社斯库林集团
著录项信息
专利名称热处理装置
申请号CN202011292027.4申请日期2020-11-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-18公开/公告号CN112820666A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人株式会社斯库林集团申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社斯库林集团当前权利人株式会社斯库林集团
发明人三宅浩志;布施和彦;上田晃颂
代理机构隆天知识产权代理有限公司代理人向勇;宋晓宝
摘要
本发明提供一种能够防止气环的变色的热处理装置。在腔室(6)的侧壁即腔室侧部(61)的上部安装气环(90)。气环(90)由上部环(91)和下部环(92)重叠而成。上部环(91)和下部环(92)之间的间隙成为处理气体的流路(97)。在流路(97)形成有具有迷宫结构的阻挡部。增大具有内壁面(92a)的下部环(92)的质量来增大热容量。此外,将下部环(92)相对冷却的腔室侧部(61)以面接触方式安装,将从下部环(92)到腔室侧部(61)的热传导率设为大的值,从而使下部环(92)中蓄积的热量变低。由此,能够在热处理时抑制下部环(92)的温度变高来防止气环(90)的变色。

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