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一种防止硅片损伤的自动脱胶机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220542787.0
IPC分类号：C30B35/00
申请日期：
2012-10-23
申请人：
镇江大成新能源有限公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种防止硅片损伤的自动脱胶机
申请号	CN201220542787.0	申请日期	2012-10-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	镇江大成新能源有限公司	申请人地址	江苏省镇江市镇江新区五峰山路89号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	镇江大成新能源有限公司	当前权利人	镇江大成新能源有限公司
发明人	于松
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本实用新型公开了一种防止硅片损伤的自动脱胶机，包括支架，还包括挡板，所述挡板成对设置在所述支架底部，并根据晶棒长度调节两个所述挡板之间的距离。本实用新型的优点是在自动脱胶机支架上安装挡板，对晶棒两端进行固定，晶棒脱胶后硅片紧靠挡板站立，避免了晶棒与粘棒玻璃脱离后硅片倾斜而导致硅片出现碎片，提高了硅片合格率。

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