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一种石墨舟快速传送机构

发明专利有效专利

申请号：
CN201810448475.5
IPC分类号：H01L21/677;H01L31/18
申请日期：
2018-05-11
申请人：
罗博特科智能科技股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种石墨舟快速传送机构
申请号	CN201810448475.5	申请日期	2018-05-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-08-17	公开/公告号	CN108417521A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	罗博特科智能科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗博特科智能科技股份有限公司	当前权利人	罗博特科智能科技股份有限公司
发明人	张学强;戴军;张建伟;罗银兵
代理机构	苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	耿丹丹

摘要

本申请公开了一种石墨舟快速传送机构，包括第一传送机构和第二传送机构，所述第一传送机构包括沿X向设置的传送轨和设置在所述传送轨上并通过传送轨带动的模座，所述第二传送机构包括设于所述模座上的底板和设置在所述底板上的输送单元及驱动所述输送单元沿X向输送石墨舟的第一驱动机构。本申请大大提高了石墨舟的传送效率。

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