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一种扩散泵泵芯

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021762551.9
  • IPC分类号:F04F9/00
  • 申请日期:
    2020-08-21
  • 申请人:
    江阴市光科光电精密设备有限公司
著录项信息
专利名称一种扩散泵泵芯
申请号CN202021762551.9申请日期2020-08-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04F9/00IPC分类号F;0;4;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人江阴市光科光电精密设备有限公司申请人地址
江苏省无锡市江阴市高新园区长山路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江阴市光科光电精密设备有限公司当前权利人江阴市光科光电精密设备有限公司
发明人瞿建强
代理机构无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王威钦
摘要
本实用新型公开了一种扩散泵泵芯,包括位于中部的泵芯体,泵芯体上端设置顶喷嘴伞盖,泵芯体的外表面由上至下设有若干个喷嘴伞盖,相邻喷嘴伞盖之间设有包围在泵芯体外的分流导流腔;顶喷嘴伞盖通过连接杆与最下方喷嘴伞盖处的法兰相连,法兰下固定连接设置保温罩,保温罩底端固定连接底座油盘,最下方喷嘴伞盖处的法兰下连接有用于降低返油率的挡流圈。本实用新型能够控制返油率,在提高抽气量增加抽气效率的同时还控制了返油率。

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