微机电换能器

发明专利有效专利

申请号：
CN200680017139.0
IPC分类号：H02N1/00;H04R19/00;H04R31/00
申请日期：
2006-05-18
申请人：
科隆科技公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微机电换能器
申请号	CN200680017139.0	申请日期	2006-05-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-04	公开/公告号	CN101573861
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02N1/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02N 其他类目不包含的电机 H02N1/00 应用固体移动静电荷载体的静电发电机或电动机	IPC分类号	H;0;2;N;1;/;0;0;;;H;0;4;R;1;9;/;0;0;;;H;0;4;R;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人	科隆科技公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科隆科技公司	当前权利人	科隆科技公司
发明人	黄勇力
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈炜

摘要

本发明公开了一种微机电换能器(诸如cMUT)。该换能器(500)具有衬底(501)、顶板(540)和其间的中间弹性层(520)。衬底(501)和中间弹性层(520)在其间限定以支承特征部为侧壁的空腔。中间弹性层(520)由支承特征部锚固以在空腔上形成悬臂以实现位于中间弹性层(520)上的连接器的垂直位移。连接器在中间弹性层(520)和顶板(540)之间限定换能空间。通过连接器的垂直位移以类似于活塞的运动移动顶板(540)，来改变换能空间并实现能量转换。各种构造的悬臂包括单悬臂、背对背双悬臂和头对头的双悬臂(桥)是可能的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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