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高温退火炉管颗粒监控晶圆

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420197288.1
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2014-04-22
  • 申请人:
    上海华力微电子有限公司
著录项信息
专利名称高温退火炉管颗粒监控晶圆
申请号CN201420197288.1申请日期2014-04-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人上海华力微电子有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海华力微电子有限公司当前权利人上海华力微电子有限公司
发明人肖天金
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王宏婧
摘要
本实用新型提供一种高温退火炉管颗粒监控晶圆。所述高温退火炉管颗粒监控晶圆包括一衬底和生长于所述衬底上的二氧化硅保护层。本实用新型提供的高温退火炉管颗粒监控晶圆的衬底上形成有保护层,可避免在高温退火工艺过程中监控晶圆表面被热应力损坏,防止产生干扰颗粒物,减少机台的停机频率;并且,可通过清洗工艺去除保护层以及保护层上由退火工艺产生的颗粒污染物,在衬底上重新生长新的保护层即可使监控晶圆重复利用,从而降低监控的成本。

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