晶圆盒清洗设备的固定元件

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820055660.X
IPC分类号：B08B13/00;B08B9/08
申请日期：
2008-02-22
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	晶圆盒清洗设备的固定元件
申请号	CN200820055660.X	申请日期	2008-02-22
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B13/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B13/00 一般用于清洁机器或设备的附件或零件	IPC分类号	B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;B;0;8;B;9;/;0;8查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人	赵俊深;吕秋玲;杨洪春;徐萍英
代理机构	上海思微知识产权代理事务所	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型公开了一种晶圆盒清洗设备的固定元件，涉及晶圆盒的清洗设备。所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。本实用新型提供的固定元件可以固定晶圆盒的底座，这样清洗设备可以对底座实现自动化清洗，提高了清洗效率，清洗更彻底，有效避免了晶圆盒对晶圆的污染，进而提高了晶圆的质量和成品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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