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处理衬底的装置和处理电子源衬底的装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200610115521.7
IPC分类号：H01J9/02;H01J9/00;H01J31/12
申请日期：
2006-08-15
申请人：
佳能株式会社

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	处理衬底的装置和处理电子源衬底的装置
申请号	CN200610115521.7	申请日期	2006-08-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-02-21	公开/公告号	CN1917120
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J9/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J9/00 专用于制造放电管、放电灯及其部件的设备和方法（；从放电管或灯回收材料〔1，7〕 H01J9/02 电极或电极系统的制造	IPC分类号	H;0;1;J;9;/;0;2;;;H;0;1;J;9;/;0;0;;;H;0;1;J;3;1;/;1;2查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	高津和正
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	张浩

摘要

一种用于在密封容器中处理衬底的衬底处理装置，该密封容器装配有排气管和气体引入管，气体引入管的引入口位于排气管内，以便在密封容器中、在排气管的排气口附近形成均匀的气氛。

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