加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体结构的形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410504710.8
  • IPC分类号:H01L21/8244
  • 申请日期:
    2014-09-26
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构的形成方法
申请号CN201410504710.8申请日期2014-09-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-20公开/公告号CN105514044A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8244
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;4查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人韩秋华;陈杰;王冬江
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人应战;骆苏华
摘要
一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底具有下拉区域和上拉区域;在衬底表面形成掩膜层,所述掩膜层包括第一图形掩膜和第二图形掩膜,所述第一图形掩膜位于下拉区域内,所述第二图形掩膜位于上拉区域内;对所述第二图形掩膜的侧壁进行减薄;在对所述第二图形掩膜的侧壁进行减薄之后,以所述掩膜层为掩膜,刻蚀所述衬底,在所述衬底内形成沟槽,位于第一图形掩模底部的衬底形成下拉晶体管有源区,位于第二图形掩模底部的衬底形成上拉晶体管有源区;在所述沟槽内形成隔离结构。所形成的半导体结构的质量改善、性能提高。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供