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一种基于模板电诱导成形的微透镜阵列制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310066083.X
  • IPC分类号:G02B3/00
  • 申请日期:
    2013-03-01
  • 申请人:
    西安交通大学
著录项信息
专利名称一种基于模板电诱导成形的微透镜阵列制造方法
申请号CN201310066083.X申请日期2013-03-01
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2013-06-12公开/公告号CN103149607A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B3/00IPC分类号G;0;2;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人西安交通大学申请人地址
陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安交通大学当前权利人西安交通大学
发明人邵金友;丁玉成;魏玉平;李祥明;田洪淼
代理机构西安智大知识产权代理事务所代理人贺建斌
摘要
一种基于模板电诱导成形的微透镜阵列制造方法,先加工微透镜模板,微透镜模板具有孔阵列,还具有导电性,然后匀胶,匀胶的衬底需要透明导电,采用旋涂或喷涂方法在透明导电衬底的ITO(氧化铟锡)上获得均匀聚合物薄膜,去掉多余聚合物薄膜,用压力将微透镜模板压在支撑层上,再电诱导成形,在微透镜模板和透明导电衬底之间施加电压,形成以旋转抛物曲面为特征的凹镜形貌,最后进行聚合物固化并脱模,即可得到微凹透镜阵列,本发明可以获得具有不同数值孔径的凹透镜阵列,具有非常高的表面光洁度,表面粗糙度可达到0.2nm以下。

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