一种膜成型机烘干装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020682895.2
IPC分类号：B29C37/00;F26B21/00;B08B15/04;B29L7/00
申请日期：
2020-04-29
申请人：
山东芯源微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种膜成型机烘干装置
申请号	CN202020682895.2	申请日期	2020-04-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B29C37/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B29 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 B29C 塑料的成型或连接；塑性状态材料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整（制作预型件入B29B 11/00；通过将原本不相连接的层结合成为各层连在一起的产品来制造层状产品入B32B 7/00至B32B 41/00）〔4〕 B29C37/00 组B29C 33/00或B29C 35/00不包括的零件、部件、附件或辅助操作〔4〕	IPC分类号	B;2;9;C;3;7;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;5;/;0;4;;;B;2;9;L;7;/;0;0查看分类表>
申请人	山东芯源微电子有限公司	申请人地址	山东省济南市章丘区清源大街北段路西变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东芯源微电子有限公司	当前权利人	山东芯源微电子有限公司
发明人	汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明;王桂芝
代理机构	济南瑞宸知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种膜成型机烘干装置，主要涉及半导体膜生产设备技术领域，包括成型机架，在所述成型机架顶部外设有鼓风机，所述鼓风机成型机架顶部内的吸风管，在所述吸风管上等距设有负压风头，在所述相邻的两个负压风头之间设有固定在吸风管下部的固定架所述固定架底部连接圆柱形套筒，所述圆柱形套筒一端设有风机、另一端设有导流板，在所述风机导流板之间设有电加热丝，既提高了烘干效率，又使水汽能够及时的排出，保证了烘干的质量提高，增加了烘干装置的空间利用度，使得膜烘干过程更加高效、节能和环保。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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