单片集成八梁臂三轴加速度计

发明专利无效专利

申请号：
CN201110319018.4
IPC分类号：G01P15/18;B81B3/00
申请日期：
2011-10-20
申请人：
中北大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	单片集成八梁臂三轴加速度计
申请号	CN201110319018.4	申请日期	2011-10-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-02	公开/公告号	CN102435776A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/18 在二维或更高维空间中〔7，2013.01〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;8;;;B;8;1;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市中北大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	张文栋;何常德;薛晨阳;熊继军;刘俊;张国军;杜春晖;宛克敬;葛晓洋;苗静;廉德钦;于佳琪;张永平
代理机构	太原科卫专利事务所（普通合伙）	代理人	朱源

摘要

本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块边框，四周质量块边框分别通过弹性梁臂与中心固支块固定，中心固支块下底面通过静电耦合技术与玻璃底盖键合，十二个阻值相等的压敏电阻对称分布在八根弹性梁臂的两端，压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别测试三个轴向的加速度。本发明加速度计灵敏度高，封装结构简单，可靠性高，成本低廉，易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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