检验基板的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110376484.6
IPC分类号：G01B11/02;G01B11/25
申请日期：
2011-11-21
申请人：
株式会社高永科技

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检验基板的方法
申请号	CN201110376484.6	申请日期	2011-11-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-04	公开/公告号	CN102538681A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;5查看分类表>
申请人	株式会社高永科技	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社高迎科技	当前权利人	株式会社高迎科技
发明人	郑仲基
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	顾红霞;何胜勇

摘要

本发明公开了一种检验基板的方法。该检验基板的方法包括：使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据；利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据；以及利用修正后的高度数据获得整合高度数据。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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