一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202011599395.3
IPC分类号：G01R29/12;G01R29/24
申请日期：
2020-12-30
申请人：
西安理工大学

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专利名称	一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统
申请号	CN202011599395.3	申请日期	2020-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-07	公开/公告号	CN112763812A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R29/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R29/00 不包括在G01R 19/00至G01R 27/00各组中的电量的测量或指示装置 G01R29/12 静电场的测量	IPC分类号	G;0;1;R;2;9;/;1;2;;;G;0;1;R;2;9;/;2;4查看分类表>
申请人	西安理工大学	申请人地址	陕西省西安市金花南路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安理工大学	当前权利人	西安理工大学
发明人	张嘉伟;张泽磊;刘朝辉;付庚;王闯;王倩
代理机构	北京国昊天诚知识产权代理有限公司	代理人	杨洲

摘要

一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统，包括有可视化箱体；可视化箱体内设有试样放置平台，试样放置平台的一端连接有静电测试平台，试样放置平台的另一端连接有放电平台；将样品放置在铜盘电极上，关闭箱体操作口；通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动，试样移动至钼丝的正下方；利用Y1轴步进电机控制Y1轴导轨上的连接件a在Y1轴导轨上移动，对样品进行放电处理；通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动，将试样移动至静电测量棒的下方；通过Y2轴步进电机控制Y2轴导轨，使连接件b带动静电测量棒沿着Y2轴导轨移动，扫描整个试样的表面，将结果上传至上机位；具有测量效率高、测量时间短，结果准确的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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