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一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710504781.1
  • IPC分类号:C23C14/48
  • 申请日期:
    2017-06-28
  • 申请人:
    江苏大学
著录项信息
专利名称一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法
申请号CN201710504781.1申请日期2017-06-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-12-12公开/公告号CN107460444A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/48IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;4;8查看分类表>
申请人江苏大学申请人地址
江苏省镇江市京口区学府路301号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏大学当前权利人江苏大学
发明人万浩;司乃潮;刘光磊;倪凯;葛俊杰
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明属于表面改性技术领域,涉及一种氦离子注入提高Ni合金抗高温氧化性能的工艺方法。将清洗过的合金固定于靶盘上并放入能够进行He+离子注入的真空腔内,抽真空使真空度达到10‑4Pa级;对合金进行He+离子注入处理,离子束与合金间入射角的选取范围为85°‑90°,束流大小为1mA‑50μA,能量为10keV‑300keV,注入剂量选取范围为1014cm‑2‑1018cm‑2的He+进行离子注入处理。利用入射高能He+离子增加Ni合金的表面能来增加合金氧化过程中表面氧化物的形核率,增加合金深层抗氧化元素Cr向合金表面进行短途扩散的通道,进而提高合金的高温抗氧化性能。

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