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板的布线图案检查装置及布线图案检查方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610941727.9
IPC分类号：H01L21/66
申请日期：
2016-10-25
申请人：
罗泽系统株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	板的布线图案检查装置及布线图案检查方法
申请号	CN201610941727.9	申请日期	2016-10-25
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-01-09	公开/公告号	CN107564827A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	罗泽系统株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗泽系统株式会社	当前权利人	罗泽系统株式会社
发明人	金振烈
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	杨文娟;臧建明

摘要

本发明提供一种不仅能够检查数据布线之间、栅极布线之间的缺陷(断开、短路)，还能够提高对数据布线及栅极布线之间的缺陷的检测力的板的布线图案检查装置及布线图案检查方法。该检查装置包括馈电部及受电部。所述馈电部同时向形成于所述板的布线图案施加具有至少两个不同频率的多个电子信号。所述受电部能够接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷。

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