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包含聚氨基酸的化学机械抛光(CMP)组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN201580005687.0
IPC分类号：C09G1/18;C09G1/02;H01L21/304
申请日期：
2015-01-21
申请人：
巴斯夫欧洲公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	包含聚氨基酸的化学机械抛光(CMP)组合物
申请号	CN201580005687.0	申请日期	2015-01-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-07	公开/公告号	CN105934487A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/06 其他抛光组合物 C09G1/14 基于非蜡物质的 C09G1/18 基于其他物质的	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;1;8;;;C;0;9;G;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	巴斯夫欧洲公司	申请人地址	德国路德维希港变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	巴斯夫欧洲公司	当前权利人	巴斯夫欧洲公司
发明人	M·劳特尔;R·朗格;B·M·诺勒;M·希伯特
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	肖威;刘金辉

摘要

一种化学机械抛光(CMP)组合物，其包含：(A)胶态或烟雾状无机颗粒或其混合物，(B)聚氨基酸和/或其盐，和(M)水性介质。

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