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机械手

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020584376.9
IPC分类号：B25J9/08;B25J15/08;B25J19/00
申请日期：
2010-10-29
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	机械手
申请号	CN201020584376.9	申请日期	2010-10-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J9/00 程序控制机械手 B25J9/08 以部件结构为特征的〔4〕	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;0;8;;;B;2;5;J;1;5;/;0;8;;;B;2;5;J;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	杨兆旺
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型公开了一种机械手，该机械手包括机械手臂及机械手指，还包括弹性连接装置，所述弹性连接装置连接所述机械手臂与所述机械手指；因而，当所述机械手臂被碰撞时，所述碰撞力将由所述弹性连接装置承受，从而减小了对机械手指及掩模版的碰撞程度，有利于保护所述机械手及掩模版不被损坏。

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