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晶圆边缘量测模组

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201620097686.5
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2016-02-01
  • 申请人:
    易发精机股份有限公司
著录项信息
专利名称晶圆边缘量测模组
申请号CN201620097686.5申请日期2016-02-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人易发精机股份有限公司申请人地址
中国台湾桃园市中坜区自强四路3之2号2楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人易发精机股份有限公司当前权利人易发精机股份有限公司
发明人蔡声鸿;陈文淇;杨倬昀;李耀吉;赵立文;蔡明宏;吴思聪
代理机构天津三元专利商标代理有限责任公司代理人崔钢
摘要
一种晶圆边缘量测模组,包括:至少一线性扫描摄影机,架设在晶圆边缘的预定处;至少一凸透镜组,位于线性扫描摄影机的前方,使线性扫描摄影机透过凸透镜组后,再对晶圆边缘的中端边缘进行线性扫描;至少一反射镜组,接近晶圆边缘,且其由一第一及第二反射镜所构成,并使反射面朝前;至少三个光源元件组,其光源分别投射至所要线性扫描晶圆边缘的上斜面边缘、中端边缘及下斜面边缘上的像素,以分别形成不同暗场光源,令晶圆边缘的像素呈现低灰度值区域,当线性扫描摄影机线性扫描晶圆边缘的部分像素呈现高灰度值区域时,则量测出高灰度值区域为晶圆边缘的缺陷。本实用新型具有提升量测晶圆边缘速度及实时发现缺陷的功效。

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