一种气敏传感器标定和可靠性测试系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200710063698.1
IPC分类号：G01N27/00
申请日期：
2007-02-07
申请人：
中国科学院微电子研究所

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著录项信息

专利名称	一种气敏传感器标定和可靠性测试系统
申请号	CN200710063698.1	申请日期	2007-02-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-13	公开/公告号	CN101241093
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	黄钦文;陈大鹏;景玉鹏;欧毅;叶甜春
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	周国城

摘要

本发明涉及气敏传感器测试技术领域，公开了一种气敏传感器标定和可靠性测试系统，该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔、真空测试腔和传感器电参量测量装置；所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的控制下进入气体混合腔进行预混合，然后进入真空测试腔；所述真空测试腔中放置有待测气敏传感器，所述传感器电参量测量装置与真空测试腔连接，用于测试真空测试腔中待测气敏传感器的性能。利用本发明，解决了现有动态气敏元件性能测试装置存在的不足之处，实现了对待测气体浓度的精确控制、对不同气体的测试，以及对器件温度的精确控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	EP0528386A2	暂无	1992-08-14	Calibration system for ultra high purity gas analysis失效专利	PRAXAIR TECHNOLOGY; INC.
2	CN1094514A	1994-11-02	1993-04-29	气体采样测试仪无效专利	中国科学院电子学研究所
3	CN1479869A	2004-03-03	2001-12-11	气体传感器标定系统失效专利	茨尔维格分析有限公司
4	CN101140252A	2008-03-12	2006-09-06	一种对气体传感器或半导体器件性能进行测试的系统失效专利	中国科学院半导体研究所
5	CN2359693Y	暂无	1999-01-14	一种动态气敏元件性能测试装置失效专利	中国科学院合肥智能机械研究所
6	US5335534A	暂无	1992-06-08	Functional testing method for toxic gas sensors失效专利	Jacob Y. Wong

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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